用于高科技制造和装配处理的无尘空间工厂

摘要

本发明提供了用于处理在无尘空间工厂内的多个类型基板或用于处理在多种类型的无尘空间环境中的多个类型的基板或单个类型的基板的多个方面。在一些实施方式中，并列的合成无尘空间工厂可以能够将半导体设备处理到集成电路中，然后执行装配操作以产生封装形式的产品。