一种带I²C通信接口的铂电阻温度传感器的制备方法

摘要

本发明涉及一种带I²C通信接口的铂电阻温度传感器及其制备方法，传感器包括半导体衬底和电路层，电路层包括稳压芯片、铂电阻感温电桥、放大器及A/D转换及I²C通信接口；其制备方法的步骤是：首先完成传感器核心部分的制作，即在半导体衬底上完成传感器核心部分电路层的制作，然后对其进行封装检测；本发明铂电阻感温电桥的由三条以铬和硅为主成分的高阻材料制成的定值电阻丝和一条铂电阻丝构成，所有电阻丝都为折线结构；本发明传感器采用芯片级封装，封装形式采用无引脚贴片式；采用MEMS工艺制备，具备集成化、微型化的特点。