平衡正向压降和反向漏电流的肖特基二极管及制备方法

摘要

本发明涉及一种用于整流器的二极管分离器件，更确切的说，本发明旨在提供一种带有沟槽结构或者平面型的肖特基二极管半导体器件及制备方法。包括一个衬底和衬底之上的肖特基合金层，肖特基合金层包括由下至上依次覆盖在衬底上表面之上的肖特基势垒层、势垒调节层和金属阻挡层，可通过调整所述势垒调节层的厚度以及退火条件来调节肖特基合金层的势垒高度。