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一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法

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摘要

本发明公开了一种高织构热解碳薄膜快速制备的方法，包括下述步骤：(1)将密度为1.85～1.90g/cm

1. 一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法 [P] . 中国专利： CN104498893B . 2017.01.11
2. 一种利用织构屈服各向异性构建织构模型来调控气相沉积金属薄膜织构的方法 [P] . 中国专利： CN110580938A . 2019-12-17
3. Fabrication of highly textured lithium cobalt oxide films by rapid thermal annealing [P] . 美国专利： US6562518B2 . 2003-05-13

机译：通过快速热退火制备高织构化锂钴氧化物薄膜
4. Fabrication of highly textured lithium cobalt oxide films by rapid thermal annealing [P] . 美国专利： US6555270B2 . 2003-04-29

机译：通过快速热退火制备高织构化锂钴氧化物薄膜
5. Fabrication of highly textured lithium cobalt oxide films by rapid thermal annealing [P] . 美国专利： US6344366B1 . 2002-02-05

机译：通过快速热退火制备高织构化锂钴氧化物薄膜