一种基于霍尔磁敏元件阵列的磁栅位移传感器

摘要

本发明提供一种基于霍尔磁敏元件阵列的磁栅位移传感器，采用同规格磁钢按相邻极性相反排成一列，将其固定在磁基上作为磁栅尺；六个霍尔磁敏元件等间距排成一列作为磁头。该基于霍尔磁敏元件阵列的磁栅位移传感器采用磁钢作为磁栅尺可以获得较强的磁场，比一般的录磁大很多。而且采用磁钢排列可以随时更换磁钢及排列方式，便于编码以及调整测量长度；采用霍尔磁敏元件阵列作为磁头，通过将六个霍尔元件输出信号中两条相位相差一定角度的曲线叠加，在一个周期内的不同角度选择不同的插补曲线，可以使输出信号在一个周期内实现线性化，提高了位移计算精度并简化了数据处理过程。