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MO源专用循环式惰性气体手套箱循环净化系统

摘要

本发明公开了一种MO源专用循环式惰性气体手套箱循环净化系统,在手套箱中合成、纯化及灌装MO源时,大量有机溶剂及MO源本身的蒸汽,在手套箱循环系统运行过程中,对手套箱水分仪、氧分仪势必有一定腐蚀,影响测定准确性,同时大量蒸汽的存在,也缩短了水、氧净化柱的寿命。通过本发明净化系统,实现了对有机溶剂及MO蒸汽的有效收集,避免了对水分仪、氧分仪的腐蚀,保证了测定值的可靠性,而且延长了水、氧净化柱的寿命。在规模化生产中,本发明不仅利于MO源产品质量的稳定性,还降低了手套箱运行成本,降低了生产成本。

著录项

  • 公开/公告号CN104190202B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-01-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 安徽亚格盛电子新材料有限公司;

    申请/专利号CN201410450599.9

  • 发明设计人 曹季;武利曙;徐昕;

    申请日2014-09-05

  • 分类号

  • 代理机构南京正联知识产权代理有限公司;

  • 代理人沈志海

  • 地址 241009 安徽省芜湖市经济技术开发区管委会三楼

  • 入库时间 2022-08-23 09:50:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-01-25

    授权

    授权

  • 2015-08-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/00 申请日:20140905

    实质审查的生效

  • 2014-12-10

    公开

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