公开/公告号CN103246172B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司;
申请/专利号CN201310005111.7
申请日2013-01-07
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人余刚
地址 德国特劳恩罗伊特
入库时间 2022-08-23 09:49:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-28
授权
授权
2015-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20130107
实质审查的生效
2014-05-07
著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20130107
著录事项变更
2013-08-14
公开
公开
机译: 光学位置测量装置的扫描单元以及具有该扫描单元的位置测量装置
机译: 光学位置测量装置的扫描单元以及具有该扫描单元的位置测量装置
机译: 光学位置测量装置的扫描单元以及具有该扫描单元的位置测量装置