一种对晶圆表面金属进行钝化及合金化处理的方法

摘要

本发明涉及一种对晶圆表面金属进行钝化及合金化处理的方法，其在完成了金属层钝化及合金化处理后，对晶圆进行可接受度检查的电性测试，同时对于测试出的多晶硅栅极电阻偏低而未达标的晶圆，立即进行第二次的合金化处理进行弥补，以增加晶圆的多晶硅栅极电阻的阻值，使其达到标准值，有效提升晶圆的成品质量和优良率，并且同时提高生产效率。