板状物的磨削方法

摘要

本发明提供一种板状物的磨削方法，能够抑制在使支承部件从磨削得较薄的板状物剥离时的板状物的破损。其构成为具备：载置工序，对形成为能够通过来自外部的力而弯曲的厚度的由金属制成的支承部件（S）的表面（S1）和板状物（W）的表面（W1）的至少一方涂敷光硬化树脂（R），使板状物的表面与支承部件的表面相对地进行载置；固定工序，隔着板状物对光硬化树脂照射紫外线（UV）从而将板状物固定于支承部件上；薄化工序，以保持工作台（41）保持支承部件侧，并对板状物的背面进行磨削以使其变薄至预定厚度；以及除去工序，对光硬化树脂进行加热或加水以使其软化，保持板状物的磨削面（W3），使支承部件和光硬化树脂弯曲而从板状物剥离。