公开/公告号CN104205319B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201380016084.1
申请日2013-03-25
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:49:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-02
授权
授权
2015-04-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20130325
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
机译: 用于墙壁覆盖物的承载装置具有壁支撑件和紧固到壁上的基板,并且这两者彼此相距一定距离,从而沿相对于壁支撑件的参考位置中的位移路径的支柱可移除地互锁。
机译: 具有射频(RF)返回路径的基板支持
机译: 具有射频(RF)返回路径的基板支持