能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器

摘要

本发明涉及一种能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器。该气体激光振荡器具备：第一控制阀，其能够控制提供给气体容器的激光气体的量；第二控制阀，其能够控制从气体容器排出的激光气体的量；控制装置，其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度。控制装置具备：存储部，其存储表示气体容器内的激光气体的压力、第二控制阀的开度以及激光气体的排出量的关系性的数据；气体压力控制部，其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度，使得气体容器内的激光气体的压力接近基准气体压力；气体消耗量控制部，其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度，使得激光气体的排出量接近目标消耗量。