一种表面覆盖Pt电极的TiO₂纳米管阵列室温氢气传感器

摘要

本发明公开了一种室温氢气传感器，具体涉及表面覆盖Pt电极的TiO₂纳米管阵列氢敏元件的制备与性能检测。本发明所述的氢敏元件的制备方法为：将裁剪合适的高纯度工业用Ti箔片经严格清洗后置于氟化铵和乙二醇水溶液中阳极氧化处理3h，制备出表面均匀、高度有序的TiO₂纳米管阵列。采用表面覆盖Pt电极的TiO₂纳米管阵列作为氢敏元件，提高了传感器灵敏度、响应速度，降低了工作温度。