检查具有不规则凹凸表面的基板的装置及使用该装置的检查方法

摘要

一种检查具有凹凸表面的基板P的装置(102)，其具有：对基板P照射第一检测光的第一照射系统(114、116)；从被第一检测光照射的基板的整个凹凸表面上检测亮度不均的第一检测系统(112)；对基板照射具有与第一检测光不同的波长的第二检测光的第二照射系统(124、126)；和检测被第二检测光照射的基板的凹凸表面的缺陷的第二检测系统(122)。本发明提供有效且低成本地对具有不规则凹凸表面的基板的亮度不均和局部的图案缺陷这两者进行检查的检查装置及检查方法。