下支承销配置确定设备和下支承销配置确定方法

摘要

一种下支承销模块（22），被成形为具有：被支撑在由放置在基板保持部分上的支承板上的底座部分（23）、从底座部分（23）向上延伸的轴（24B）、位于轴（24B）的上部分上且轴（24B）的外径在该处变小的缩径部分（26）、以及形成在缩径部分（26）的顶部上并且在与基板的下支承表面接触时下支承的接触表面（26a）；下支承销模块（22）被从上方成像以捕获下支承销模块（22）的平面图像，该图像经受识别处理，从而在设置在从轴（24B）的外周过渡到缩径部分（26）的高度位置处的识别基准位置（24b）处检测轴（24B）的外形。由此，即使当保留在基板的下侧表面上的外来物质已粘附至接触表面（26a）时，下支承销模块（22）的位置也能够被以足够识别精度稳定地识别。