三远心同轴照明成像光学系统

摘要

本发明的三远心同轴照明成像光学系统，其前置物镜组和后置物镜组构成双远心成像光学系统，前置物镜组、分光棱镜和照明物镜组构成双远心同轴照明光学系统；孔径光阑AS₁位于前置物镜组的像方焦平面上和后置物镜组的物方焦平面上，孔径光阑AS₂位于前置物镜组的像方焦平面上和照明物镜组的物方焦平面上。本发明将两个双远心系统耦合而成为三远心系统，具有同轴照明和成像双重作用。成像系统视场达到180mm，成像畸变小于‑0.1%；全视场分辨率达到200lp/mm，且成像质量均匀，照明系统可以实现整个视场的均匀化照明，避免了同轴环形光照明产生的照明不均匀的缺陷。