微机电感测元件及微机电感测元件的制作方法

摘要

本发明涉及一种微机电感测元件，其包括一基板、一半导体层、一支撑柱、一第一悬浮臂、一第一连接部、一第二悬浮臂以及一主质量块。半导体层配置于基板上。支撑柱配置于半导体层上。第一悬浮臂配置于支撑柱上，且支撑柱连接第一悬浮臂的一部分。第一连接部直接或间接地连接第一悬浮臂的另一部分。第二悬浮臂具有一第一表面与一相对第一表面的一第二表面，且第一连接部连接第一表面的一部分。主质量块连接第二悬浮臂，且第二悬浮臂的一部分构成主质量块的一部分。本发明还提出一种微机电感测元件的制作方法。