公开/公告号CN103413815B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 格科微电子(上海)有限公司;
申请/专利号CN201310338337.9
申请日2013-08-05
分类号H01L27/146(20060101);H01L21/768(20060101);H01L21/56(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区盛夏路560弄2号楼11F
入库时间 2022-08-23 09:46:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-25
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 27/146 登记生效日:20191008 变更前: 变更后: 申请日:20130805
专利申请权、专利权的转移
2016-09-07
授权
授权
2016-09-07
授权
授权
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/146 申请日:20130805
实质审查的生效
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/146 申请日:20130805
实质审查的生效
2013-11-27
公开
公开
2013-11-27
公开
公开
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