公开/公告号CN218223591U
专利类型实用新型
公开/公告日2023-01-06
原文格式PDF
申请/专利权人 广东精达宏自动化科技有限公司;
申请/专利号CN202222709997.0
申请日2022-10-14
分类号B07C5/34;B07C5/36;
代理机构佛山市禾才知识产权代理有限公司;
代理人罗凯欣
地址 528000 广东省佛山市南海区狮山镇罗村塱沙广东新光源产业基地核心区内C区4座五楼之1工业厂房
入库时间 2023-01-12 18:57:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-01-06
授权
实用新型专利权授予
机译: 在具有激光缺陷检测功能的扫描型电子显微镜中的CCD照相机的自动更换方式中,
机译: 具有用于检测孔的内表面中的缺陷的枢转涡流探头的设备
机译: 具有即时检测自对准接触孔缺陷的功能的半导体装置及其处理方法