微米组件调节装置以及微米组件转置装置

摘要

本实用新型公开了一种微米组件调节装置以及微米组件转置装置，该微米组件调节装置包括用于放置微米组件的治具，微米组件调节装置还包括承载机构与锁止机构，所述治具连接所述承载机构且所述治具可相对所述承载机构在第一平面上自由摆动，所述锁止机构能够用于实现所述治具与承载机构间的相对锁止。采用这样的结构在运行时，将能够相对承载机构摆动的治具与基板载台的平面相贴，此时该治具会与基板载台的平面自我调整贴合，随后通过锁止机构将治具与承载机构相对死锁，此时治具无法移动和转动，避免微米组件在转置后出现偏离或歪斜。