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公开/公告号CN104178744B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海应用物理研究所;
申请/专利号CN201410407180.5
发明设计人 张东生;夏汇浩;周兴泰;杨新梅;宋金亮;
申请日2014-08-18
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人邓琪
地址 201800 上海市嘉定区嘉罗公路2019号
入库时间 2022-08-23 09:45:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-24
授权
2014-12-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20140818
实质审查的生效
2014-12-03
公开
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