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公开/公告号CN103757611B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 厦门大学;
申请/专利号CN201410045534.6
发明设计人 周忠华;吴玉萍;黄悦;
申请日2014-02-08
分类号C23C18/00(20060101);
代理机构35200 厦门南强之路专利事务所(普通合伙);
代理人马应森
地址 361005 福建省厦门市思明南路422号
入库时间 2022-08-23 09:45:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/00 申请日:20140208
实质审查的生效
2014-04-30
公开
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