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一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器及其制备方法。它的制备方法包括如下步骤:1)在扭转双层石墨烯上涂覆光敏材料,然后在所述扭转双层石墨烯上刻蚀,并进行显影、定影,做出电极图案;2)将经步骤1)处理的所述扭转双层石墨烯的所述电极图案上,进行蒸镀金属得到电极,即得到所述光电探测器。本发明通过制备得到特定角度的扭转角双层石墨烯,其制备的光电探测器件具有很高迁移率,对特定波长光具有高效的光电探测效率,光电响应平均增强,且具有极低的暗电流,以及无需偏压、栅压提供额外能量的优点。

著录项

  • 公开/公告号CN104659152B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-08-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京大学;

    申请/专利号CN201510078677.1

  • 发明设计人 刘忠范;尹建波;王欢;彭海琳;

    申请日2015-02-13

  • 分类号

  • 代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;

  • 代理人关畅

  • 地址 100000 北京市海淀区颐和园路5号

  • 入库时间 2022-08-23 09:45:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2015-06-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20150213

    实质审查的生效

  • 2015-05-27

    公开

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