法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 授权公告日:20160817 终止日期:20171125 申请日:20131125
专利权的终止
2016-08-17
授权
授权
2016-08-17
授权
授权
2014-04-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20131125
实质审查的生效
2014-04-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20131125
实质审查的生效
2014-03-05
公开
公开
2014-03-05
公开
公开
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机译: 基于光栅的光谱滤光片,用于抑制极端紫外光刻系统中坚果带外的辐射
机译: 基于光栅的光谱滤光片,用于抑制极端紫外光刻系统中坚果带外的辐射
机译: 具有从紫外到红外的透射带的滤光片装置