公开/公告号CN216322586U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 济南优纳泰克新材料科技有限公司;
申请/专利号CN202122788931.0
申请日2021-11-15
分类号B03C1/02;
代理机构北京众达德权知识产权代理有限公司;
代理人田灵菲
地址 250104 山东省济南市中国(山东)自由贸易试验区济南片区世纪大道9099号唐冶院士谷23号楼505-5
入库时间 2022-08-23 06:20:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-19
授权
实用新型专利权授予
机译: 基板背面研磨部件的修整装置及修整方法
机译: 工件去毛刺抛光装置及其方法