原子力显微镜刀尖测量的显微对准装置、原子力显微镜

摘要

本实用新型提供用于原子力显微镜刀尖测量的显微对准装置，包括：显微成像组件，位于原子力显微镜的测量探针上方或下方，用以获取测量探针的针尖与待测刀具的刀尖相对位置形成的成像部位的第一轮廓像；侧方成像组件，设置所述测量探针一侧，用以获取所述成像部位的第二轮廓像；根据第一轮廓像及第二轮廓像配合待测刀尖的位置调整，以使得所述针尖对准所述刀尖。本实用新型还提供一种原子力显微镜。采用显微成像组件、侧方成像组件同时工作，获取针尖与刀尖相对位置形成的成像部位的两个方位的轮廓像，以使得针尖与刀尖精准对准，且操作便捷，提高工作效率。