公开/公告号CN215897606U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 河北志成束源科技有限公司;
申请/专利号CN202122342567.5
申请日2021-09-27
分类号H02M7/00(20060101);H02M7/02(20060101);H02B1/015(20060101);H02B1/30(20060101);H02B1/32(20060101);H02B1/04(20060101);H02B1/56(20060101);
代理机构11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人杜武
地址 065000 河北省廊坊市大厂高新技术产业开发区工业二路北侧
入库时间 2022-08-23 04:59:16
机译: 电子束检测方法,用于扫描型电子显微镜的电子束检测方法,用于扫描型电子显微镜的尺寸校准方法以及用于电子束检测装置和扫描型电子显微镜的尺寸校准装置
机译: 电子束扫描机理,电子束装置,电子束曝光装置和电子束扫描方法
机译: 电子束焊机的真空压力控制装置及其控制方法