热丝装置以及HWCVD设备

摘要

本实用新型公开了热丝装置以及HWCVD设备，其中，热丝装置，可设置在HWCVD设备的镀膜腔内，包括：热丝和保持部。所述热丝在所述镀膜腔内水平地延伸。所述保持部保持所述热丝并使所述热丝沿长度方向可延伸。根据本实用新型的热丝装置，由于能够热丝在镀膜腔内水平地延伸，因此能够在镀膜对象物水平放置的状态下对其进行镀膜。由于镀膜对象物无需通过例如盖板等的固定件固定到托盘上，因此能够减少镀膜对象物被遮蔽的面积，进而能够至少一定程度上扩大镀膜对象物的镀膜面积。