含由苯醌－环戊二烯加成物衍生的官能团的树脂化合物及含此化合物的光阻剂组成物

摘要

本发明提供一种具有以下通式(1)结构的树脂化合物，其中，X、R₁、R₃、R₄、R₅及R₆，以及a、b、c、d、e、及f如本文中所定义。本发明树脂化合物是由含具以下通式(3)结构的苯醌-环戊二烯加成物的双烯类单体与其他单体所聚合而成，其中R³如本文中所定义，此单体可有效提高树脂化合物的分子量及对基板的粘着力，并且具有强化树脂抗蚀刻的能力。本发明还提供一种包含上述式(1)的树脂化合物的光阻剂组成物。