惯性传感器

摘要

本申请提供了一种惯性传感器，解决了现有技术中批量生产的惯性传感器的性能均一性较差和电互联难度高的问题。其中，惯性传感器包括：可动元件，可动元件包括叠置的第一衬底和第一导电层，第一衬底的材料为单晶材料。