一种坩埚旋转下降法生长氟化物晶体的装置

摘要

一种坩埚旋转下降法生长氟化物晶体的装置，包括炉体，炉体内腔装有底部保温屏，底部保温屏上安装有下圆周保温屏和隔热环，隔热环上方装有上圆周保温屏和顶部保温屏；坩埚支柱杆穿过炉体，坩埚支柱杆的上端固定安装有坩埚，上腔体内固定安装有发热体；炉体底部通过进气口与惰性气体罐和还原性气体罐相连接，炉体上方侧表面设置有出气口。其方法包括热场安装和装料、抽真空并充入保护气氛、升温化料、晶体生长和降温退火。本实用新型通过不断充入惰性气体加还原性气体的混合气，从而既保证在氟化物生长过程中能够有效去除原料中含氧杂质，也能够有效将热场、原料中挥发出来的杂质带出炉腔，大大减少炉内的杂质污染物，以提高晶体质量。