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一种气敏传感器

摘要

本实用新型提供一种气敏传感器,该气敏传感器包括基板、器件层、导电柱和气敏模块;所述基板的第一表面设置有电路;所述器件层和所述导电柱均位于所述基板的第一表面上,所述器件层和所述导电柱均与所述电路电连接;所述导电柱的高度大于所述器件层的厚度;所述气敏模块位于所述导电柱远离所述基板的一侧,所述气敏模块与所述导电柱电连接,所述气敏模块用于检测气体的性能。本实用新型实施例提供的气敏传感器,可以减小气敏传感器的体积,提高气敏传感器的集成度。

著录项

  • 公开/公告号CN215727852U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湖南越摩先进半导体有限公司;

    申请/专利号CN202121881720.5

  • 发明设计人 谢建友;

    申请日2021-08-12

  • 分类号G01N27/00(20060101);B81B7/02(20060101);

  • 代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;

  • 代理人王瑞云

  • 地址 湖南省株洲市株洲云龙示范区云龙大道1288号创客大厦四楼A151室

  • 入库时间 2022-08-23 04:26:29

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