一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的系统

摘要

本实用新型涉及一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的系统，包括化学腐蚀槽、激光器、处理组件以及移动机台，处理组件以及激光器分别位于移动机台上，激光器与处理组件连接，化学腐蚀槽位于移动机台的一侧。本实用新型通过利用激光器发射出激光后，经过处理组件进行振镜扫描加工和静态聚焦加工玻璃表面，改变玻璃表面及下层的材料物理化学性质，并利用化学腐蚀槽内的碱性腐蚀液进行化学腐蚀，由此加工出灰度阶梯结构的产品，实现高效率地制备灰度阶梯结构的光学微型器件。