安装有隔离装置的单晶炉

摘要

本实用新型涉及一种安装有隔离装置的单晶炉，包括加料管、热屏支撑环以及同心设置的外坩埚和内坩埚，热屏支撑环设有第一加料孔，加料管穿过第一加料孔与外坩埚的内腔连通，还包括：隔离装置，包括隔离环，隔离环的内边缘围绕在内坩埚的外壁，隔离环外边缘与隔离环的内边缘之间的区域隔离外坩埚的内腔与内坩埚的内腔，以阻挡从加料管加入到外坩埚内的硅料迸溅到内坩埚腔内；连接件，可拆卸地连接隔离装置和热屏支撑环。本实用新型中的隔离装置能够较好地在防止加料管在添加硅料的过程中，硅料从外坩埚迸溅到内坩埚的问题。