电子器件、包括这种器件的半导体器件和制造这种器件的方法

摘要

本发明涉及一种电子器件，它包括具有连接区域(4、5)的诸如SAW(＝表面声波)滤波器(2、3)的电子组件(2、3)。滤波器(2、3)借助在滤波器(2、3)上面形成空腔(7)的盖(6)从环境封离。依照本发明，盖(6)由漆层(6A)构成，漆层(6A)在滤波器(2、3)的位置配备有开口(7′)并且被关闭开口(7′)的光阻材料层(6B)所覆盖、使得这样形成的空腔(7)在滤波器(2、3)上面的任何位置的厚度均大于零。这使得可以借助滤波器(2、3)进行精确和稳定的频率选择，并允许根据本发明的器件非常紧凑和容易生产。因而根据本发明的器件非常适用于如移动电话之类的应用，并且在将本发明的器件与半导体器件结合之后也是如此。光阻材料层(6B)和漆层(6A)最好在连接区域(4、5)的位置包括另外的开口(8)，这些开口配备有触块(9)、最好是焊块(9)。光阻材料层(6B)最好包括防焊料的固体箔(6B)。本发明还包括制造根据本发明的器件的方法以及其中集成有根据本发明的器件的半导体器件。