用于涡轮分子式真空泵之转子盖子

摘要

本实用新型涉及一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子包含覆盖组件及连结组件，其中覆盖组件之侧壁及顶面为光滑曲面，连结组件包含一延伸杆及一硬度及重量调节组件。延伸杆之第一端系连接覆盖组件之底面中心，延伸杆之第二端系朝向远离覆盖组件之方向延伸以邻近旋转轴，硬度及重量调节组件系连接于延伸杆之该第二端与旋转轴之间，藉以降低连结组件与旋转轴之间的硬度差异，以及提供配重效果以减少覆盖组件之旋转振动现象。