辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置

摘要

本实用新型涉及镀膜生产设备维护技术领域，提供一种辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置。该辅助更换靶材工具包括支撑座、立杆、第一紧固件和支撑柱，立杆的数量为至少两个，立杆竖直安装于支撑座；第一紧固件的数量与立杆的数量一一对应，第一紧固件位置可调地固定于立杆；支撑柱水平套接立杆且支撑于第一紧固件上。本实用新型提供的辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置，根据阴极的旋转端头中心位置和靶材的直径，第一紧固件的位置调整至合适高度，从而保证放置在支撑柱顶部的靶材的中心位置和阴极的旋转端头中心位置位于同一水平线，解决了现有的靶材更换操作存在着换靶效率低的的技术问题，从而保证靶材对位安装的一次成功性，换靶效率高。