公开/公告号CN215177575U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山泰迅通电子科技有限公司;
申请/专利号CN202120540069.9
申请日2021-03-16
分类号G01B11/16(20060101);
代理机构
代理人
地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇兴科路169号6号房
入库时间 2022-08-23 03:15:37
机译: 板坯翘曲检测装置及板坯翘曲检测方法
机译: 基板翘曲检测装置,基板翘曲检测方法,以及使用其的基板处理装置和基板处理方法
机译: 碎片翘曲检测装置及平板翘曲检测方法