法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 25/14 授权公告日:20160810 终止日期:20180830 申请日:20130830
专利权的终止
2016-08-10
授权
授权
2016-08-10
授权
授权
2014-01-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/14 申请日:20130830
实质审查的生效
2014-01-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/14 申请日:20130830
实质审查的生效
2013-12-25
公开
公开
2013-12-25
公开
公开
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机译: 用于化学气相沉积的有机金属化合物,用于化学气相沉积的有机金属化合物的制备方法,新型金属薄膜和用于新型金属复合薄膜的化学气相沉积的方法
机译: 贵金属化合物薄膜和贵金属薄膜的化学气相沉积方法以及制备化学气相沉积的有机金属化合物和化学气相沉积的金属有机化合物的方法
机译: 用于有机金属化学气相沉积过程的溶液原料以及使用该原料制备基于多氧化物的介电薄膜的方法