一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置

摘要

本实用新型属于半导体制造装置领域，公开了一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置。磊晶装置包括磊晶腔体和传送腔体，磊晶装置的清灰管路包括三通阀、排灰气源以及清灰管路，三通阀包括第一接口、第二接口以及第三接口，第一接口连通磊晶腔体，第二接口连通传送腔体，排灰气源能够和第二接口连通，第三接口连通清灰管路，三通阀的第二接口被配置为与第一接口和第三接口同时断开或者择一连通。第二接口与第一接口连通，平衡了磊晶腔体和传送腔体之间的压差。第二接口和第三接口连通，再将第二接口连通于排灰气源，从而使均压管路中的微尘能够通过清灰管路排出，清洁了管路内的灰尘，结构简单，实施方便。