公开/公告号CN103688348B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 川崎重工业株式会社;
申请/专利号CN201280035993.5
申请日2012-08-09
分类号
代理机构上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙);
代理人曹芳玲
地址 日本兵库县神户市
入库时间 2022-08-23 09:44:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
授权
2014-04-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20120809
实质审查的生效
2014-03-26
公开
公开
机译: 基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板处理装置
机译: 基板搬送方法,包括该基板搬送方法的基板搬送装置以及具有包括该基板搬送装置和基板处理装置的基板搬送装置的基板处理装置
机译: 使用器皿作餐桌使用或做饭。