一种基于缺陷概率的工艺分析与优化设计方法

摘要

本发明提供了一种在工艺设计阶段进行可靠性分析评价与可靠性优化的定量方法，通过可靠性分析评价，可以比较不同工艺方案的优劣，评估制造风险，找出影响制造结果的重要参数，通过可靠性优化设计，可以获得更为可靠的参数最优值，主要包括5个步骤：制造过程缺陷分析与影响参数筛选；制造过程不确定性识别；基于近似模型的工艺可靠性分析与制造风险评估；基于可靠性的工艺优化建模；工艺可靠性优化模型的求解。