公开/公告号CN214865823U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-11-26
原文格式PDF
申请/专利权人 莆田市佳阳电子有限公司;
申请/专利号CN202120156067.X
申请日2021-01-20
分类号B08B7/00(20060101);B08B13/00(20060101);B26D1/08(20060101);
代理机构35211 福州君诚知识产权代理有限公司;
代理人戴雨君
地址 351100 福建省莆田市涵江区高新开发区轻工业园
入库时间 2022-08-23 02:25:49
机译: 在滤色器制造过程中使用的彩色光刻胶去除方法,包括在基板上依次执行等离子体灰化,湿法蚀刻和等离子体灰化工艺,以去除基板上的彩色光刻胶残留物
机译: 有机光刻胶去除成分,能够在硬烘烤,等离子刻蚀和高温灰化过程后有效去除光刻胶和光刻胶残留物
机译: 等离子体处理提高光刻胶粗糙度并去除光刻胶的方法