公开/公告号CN214799339U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 华南理工大学;
申请/专利号CN202120548979.1
申请日2021-03-17
分类号H02P6/06(20060101);H02P21/05(20060101);H02P21/22(20160101);H02P25/026(20160101);H02P27/06(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人李斌
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号
入库时间 2022-08-23 02:03:26
机译: 一种伺服系统故障的检测方法及一种伺服系统的实现方法
机译: 用于基于二维微机电系统(MEMS)的扫描仪的伺服系统和伺服系统的使用方法
机译: 二维微电机系统(MEMS)方法,以将伺服系统及其伺服系统用于基于基础的扫描仪