公开/公告号CN214588728U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司;
申请/专利号CN202120186525.4
申请日2021-01-22
分类号H01J27/14(20060101);
代理机构44614 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王园园
地址 528400 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室
入库时间 2022-08-23 01:27:08
机译: 清洁阴极管的方法和中空阴极组件中的组件
机译: 中空阴极,包括用于制造半导体器件的中空阴极的设备以及使用中空阴极制造半导体设备的方法
机译: 中空阴极管用于分光光度法