一种废气中六氟化硫收集提纯、零排放设备

摘要

一种废气中六氟化硫收集提纯、零排放设备，包括进气回收管路、气液分离装置、液体输送管路、气体吸附排放管路和再生管路；气体进气回收管路的出气口与气液分离装置顶部的进气口连接，气液分离装置底部的出液口与液体输送管路的进液口连接，气体吸附排放管路的进气口与气液分离装置顶部的排气口连接，再生管路的进气口连接在气体吸附排放管路上，再生管路的出气口连接在进气回收管路的进气口处。本实用新型通过精密过滤，气液分离，变压吸附，常压吸附四级处理流程，实现了废气中六氟化硫的收集提纯及零排放处理，收集后的六氟化硫纯度可达到99.9%以上，进一步处理后，可实现六氟化硫气体的再利用，对饱和的吸附塔再生利用。