公开/公告号CN214247608U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 核工业理化工程研究院;
申请/专利号CN202120256370.7
发明设计人 杨坤;
申请日2021-01-29
分类号F04B37/14(20060101);F04B39/00(20060101);F04B49/00(20060101);F04B49/22(20060101);F17D3/01(20060101);
代理机构12103 天津市宗欣专利商标代理有限公司;
代理人马倩
地址 300180 天津市河东区津塘路168号
入库时间 2022-08-23 00:32:54
机译: 抽空装置包括用于抽空第二腔室的高真空泵,和用于抽空第一腔室并产生用于高真空泵的预真空的单级前抽气泵。
机译: 真空泵,真空泵组用于抽空半导体处理室和抽空半导体处理室的方法
机译: 抽空式废水收集系统的真空泵控制装置