具有在有微不平整内表面的球形凹痕的基底上的光接收层的光接收元件

摘要

一种光接收元件包括基底和多层结构物的光接收层，该层由含硅原子和至少锗或锡原子之一的非晶材料形成的内层和由含硅原子且无锗无锡原子的非晶材料形成的外层构成。基底表面不平整，有许多球状凹痕，各凹痕内表面具有微小不平整性，该元件克服了含有非晶硅复合的常规光接收元件存在的所有问题，尤其有效防止了因干涉现象在图象中产生的干涉条纹，即使在利用相干激光束作为光源可能产生干涉时也能形成质量极好的可见图象。