用于微环境中均匀分布吹扫气体的多孔隔板

摘要

一种改进了用于把微环境净化到所需水平的相对湿度、氧气或颗粒物的系统和方法，通过采用可以在微环境内均匀分布吹扫气体的吹扫气体输送装置和方法。一种具有沿塔的长度延伸的流体流动通道的净化塔的衬底容器。在孔和流体流动通道之间具有多孔介质的孔可以调节每个孔排出气体的流量和压力。可替代地，塔也可以由多孔管状聚合材料构成。套管可以在内部引导排出的吹扫气体。