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公开/公告号CN103650126B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 村田机械株式会社;
申请/专利号CN201280016013.7
发明设计人 雁部政彦;
申请日2012-03-13
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人舒艳君
地址 日本京都府
入库时间 2022-08-23 09:44:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
2014-04-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20120313
实质审查的生效
2014-03-19
公开
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