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方向调整装置以及方向调整方法

摘要

本发明提供方向调整装置以及方向调整方法。具备方向调整装置的防尘自动立体仓库(100)具备在货物(中间掩模230)朝外部装置(曝光装置)的插入方向预先确定、且载置有货物的状态的载置台(掩模盒200)朝外部装置的插入方向预先确定的情况下使载置台旋转的旋转装置(掩模盒开启器140);不变更货物的方向地保持货物的保持装置(中间掩模输送装置120);及控制旋转装置以及保持装置的控制器(180)。进而,控制器使旋转装置在使货物从被保持于旋转装置的载置台离开的状态下保持货物,并使货物已离开的状态下的载置台从初始位置旋转至目标位置,将货物载置于旋转至目标位置的载置台,使载置有货物的状态的载置台从目标位置旋转至初始位置。

著录项

  • 公开/公告号CN103650126B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-08-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 村田机械株式会社;

    申请/专利号CN201280016013.7

  • 发明设计人 雁部政彦;

    申请日2012-03-13

  • 分类号

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人舒艳君

  • 地址 日本京都府

  • 入库时间 2022-08-23 09:44:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2014-04-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20120313

    实质审查的生效

  • 2014-03-19

    公开

    公开

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