等离子体处理晶圆用载具及晶圆处理设备

摘要

本实用新型提供了一种等离子体处理晶圆用载具，所述载具包括托盘和边缘环，所述托盘放置晶圆，所述边缘环绕所述托盘周向设置，所述边缘环设有用于排出副产物的排出结构，所述排出结构贯穿所述缘环。本实用新型通过在所述边缘环设置所述排出结构，能将等离子体处理所述晶圆时产生的副产物实时排出所述载具，避免副产物在所述晶圆附近附着堆积而触碰到所述晶圆而对所述晶圆的边缘造成污染，防止干扰等离子体与所述晶圆的处理反应，有助于提高所述晶圆的生产质量。本实用新型还提供了一种晶圆处理设备，设置有所述的等离子体处理晶圆用载具。